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  Uncertainties in the reconstruction of nanostructures in EUV scatterometry and grazing incidence small-angle X-ray scattering

Herrero, A. F., Pflüger, M., Puls, J., Scholze, F., Soltwisch, V. (2021): Uncertainties in the reconstruction of nanostructures in EUV scatterometry and grazing incidence small-angle X-ray scattering. - Optics Express, 29, 22, 35580-35591.
https://doi.org/10.1364/OE.430416

Item is

 

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://publications.pik-potsdam.de/pubman/item/item_26663 Versions-Permalink: https://publications.pik-potsdam.de/pubman/item/item_26663_2
Genre: Zeitschriftenartikel

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26663oa.pdf (Verlagsversion), 4MB
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https://publications.pik-potsdam.de/pubman/item/item_26663_1/component/file_26664/26663oa.pdf
Name:
26663oa.pdf
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-
Sichtbarkeit:
Öffentlich
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-
Copyright Info:
-
Lizenz:
https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Herrero, Analía Fernández1, Autor
Pflüger, Mika2, Autor              
Puls, Jana1, Autor
Scholze, Frank1, Autor
Soltwisch, Victor1, Autor
Affiliations:
1External Organizations, ou_persistent22              
2Potsdam Institute for Climate Impact Research, ou_persistent13              

Inhalt

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Schlagwörter: -
 Zusammenfassung: Increasing miniaturization and complexity of nanostructures require innovative metrology solutions with high throughput that can assess complex 3D structures in a non-destructive manner. EUV scatterometry is investigated for the characterization of nanostructured surfaces and compared to grazing-incidence small-angle X-ray scattering (GISAXS). The reconstruction is based on a rigorous simulation using a Maxwell solver based on finite-elements and is statistically validated with a Markov-Chain-Monte-Carlo sampling method. It is shown that in comparison to GISAXS, EUV allows to probe smaller areas and to reduce the computation times obtaining comparable uncertainties.

Details

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Sprache(n):
 Datum: 2021-10-152021
 Publikationsstatus: Final veröffentlicht
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: DOI: 10.1364/OE.430416
PIKDOMAIN: RD3 - Transformation Pathways
Organisational keyword: RD3 - Transformation Pathways
MDB-ID: No data to archive
OATYPE: Gold Open Access
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Optics Express
Genre der Quelle: Zeitschrift, SCI, Scopus, p3
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 29 (22) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 35580 - 35591 Identifikator: CoNE: https://publications.pik-potsdam.de/cone/journals/resource/journals371
Publisher: The Optical Society