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  Uncertainties in the reconstruction of nanostructures in EUV scatterometry and grazing incidence small-angle X-ray scattering

Herrero, A. F., Pflüger, M., Puls, J., Scholze, F., & Soltwisch, V. (2021). Uncertainties in the reconstruction of nanostructures in EUV scatterometry and grazing incidence small-angle X-ray scattering. Optics Express, 29(22), 35580-35591. doi:10.1364/OE.430416.

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アイテムのパーマリンク: https://publications.pik-potsdam.de/pubman/item/item_26663 版のパーマリンク: https://publications.pik-potsdam.de/pubman/item/item_26663_1
資料種別: 学術論文

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26663oa.pdf (出版社版), 4MB
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https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/

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作成者

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 作成者:
Herrero, Analía Fernández1, 著者
Pflüger, Mika2, 著者              
Puls, Jana1, 著者
Scholze, Frank1, 著者
Soltwisch, Victor1, 著者
所属:
1External Organizations, ou_persistent22              
2Potsdam Institute for Climate Impact Research, ou_persistent13              

内容説明

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キーワード: -
 要旨: Increasing miniaturization and complexity of nanostructures require innovative metrology solutions with high throughput that can assess complex 3D structures in a non-destructive manner. EUV scatterometry is investigated for the characterization of nanostructured surfaces and compared to grazing-incidence small-angle X-ray scattering (GISAXS). The reconstruction is based on a rigorous simulation using a Maxwell solver based on finite-elements and is statistically validated with a Markov-Chain-Monte-Carlo sampling method. It is shown that in comparison to GISAXS, EUV allows to probe smaller areas and to reduce the computation times obtaining comparable uncertainties.

資料詳細

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言語:
 日付: 2021-10-152021
 出版の状態: Finally published
 ページ: -
 出版情報: -
 目次: -
 査読: 査読あり
 識別子（DOI, ISBNなど）: DOI: 10.1364/OE.430416
PIKDOMAIN: RD3 - Transformation Pathways
Organisational keyword: RD3 - Transformation Pathways
MDB-ID: pending
OATYPE: Gold Open Access
 学位: -

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出版物 1

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出版物名: Optics Express
種別: 学術雑誌, SCI, Scopus, p3
 著者・編者:
所属:
出版社, 出版地: -
ページ: - 巻号: 29 (22) 通巻号: - 開始・終了ページ: 35580 - 35591 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: CoNE: https://publications.pik-potsdam.de/cone/journals/resource/journals371
Publisher: The Optical Society